Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ２ 次の本命デバイス，ＭＥＭＳをつかめ〜デバイス製造・設計の インフラ整備が加速
日経マイクロデバイス 第234号 2004.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第234号（2004.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 10ページ （全6415字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （333kb） |
| 雑誌掲載位置 | 102〜111ページ目 |
ＭＥＭＳデバイス開発に必要なインフラが整いつつある。従来は半導体製造設備などを転用していたが，ここへ来てＭＥＭＳ向けの製造装置や設計ツールが充実してきた。例えば製造装置では，高速の深掘りエッチング装置の品揃えが豊富になっている。設計ツールでは，ＭＥＭＳ特有の機械や電気という広範な現象を，１システムで扱える製品が登場した。ＭＥＭＳに対する要求仕様からトップダウンで設計できる。さらに，設計から製造まで…
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