Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜６５〜４５ｎｍの製造・検査技術は ＩＴを駆使したプロセス制御が重要に
日経マイクロデバイス 第233号 2004.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第233号（2004.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全4237字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （229kb） |
| 雑誌掲載位置 | 94〜95ページ目 |
半導体製造関連で最大の学会「ＩＳＳＭ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｏｎ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）２００４」が，９月２７〜２９日に東京で開催された注１），注２）。今回は，複数の工程にまたがるプロセス技術をＩＴ（情報通信）技術によって制御・統合するための論文がこれまで以上に多かった。 その背景には，６５ ｎｍ（ｈｐ９０）〜４５ｎｍ（ｈｐ６５）…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「2ページ（全4237字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜「部品以上で機器未満」の開発サービス 半導体事業の一環として軌道に乗る
Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜ＧビットＭＲＡＭへの“壁越え”に成功 スパッタ法でＭＲ比２３０％を実現
Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜ＳｙｓｔｅｍＣベースのＳｏＣ検証技術 ケータイからデジタル家電へ広がる
ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｌｏｇｉｃ］〜ファブレス半導体メーカーの売上高 ２００４年第２四半期は 前年同期比４４％増で８３億米ドル
ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｌｏｇｉｃ］〜ＮＥＣエレクトロニクスがケータイ向けの ＧＰＳチップ・セットを発表 Ｗ−ＣＤＭＡ端末狙う
