Ｒｅｐｏｒｔ［Ｎｅｗ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ］〜ドッと出てきたＭＥＭＳデバイス　センサー，リレー，マイクなど
日経マイクロデバイス　第233号　2004.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第233号（2004.11.1）
ページ数	2ページ　（全2756字）
形式	PDFファイル形式　（260kb）
雑誌掲載位置	84〜85ページ目

　２００４年１０月５〜９日に開催された「ＣＥＡＴＥＣ　ＪＡＰＡＮ　２００４」の電子部品会場では，ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）関連の展示がひときわ目を引いた。「例年以上にＭＥＭＳ関連の展示が目立つ」（ここ数年参加している展示ブースの説明員など）という声が多く聞かれた。その中から，六つの展示品を紹介する。ＳＯＩ基板で数μｍの加工精度に　オムロンは，光通信に…