Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜粒径分布測定装置「ＬＡ−９５０」
日経マイクロデバイス　第232号　2004.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第232号（2004.10.1）
ページ数	1ページ　（全690字）
形式	PDFファイル形式　（327kb）
雑誌掲載位置	110ページ目

　測定範囲が１０ｎｍ〜３ｍｍと広い粒径分布測定装置（図２）。測定対象の粉体を液体中に混ぜて循環させながらレーザー光を照射し，その散乱光の方向と強度の分布から粒径の分布を推定する。粒子径によって反射光の方向が異なる原理を利用している。半導体ウエーハ向け研磨剤の製造工程における管理，半導体パッケージの封止剤の開発，電池材料の開発，セラミックス粉体材料の受け入れ検査などに使える。これまで測定可能な最小径…