Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜複合顕微鏡「ナノサーチ顕微鏡」
日経マイクロデバイス 第232号 2004.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第232号（2004.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全685字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （327kb） |
| 雑誌掲載位置 | 110ページ目 |
微小欠陥の観察作業時間を約１／１０に短縮できる複合顕微鏡（図１）。一般に，走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ：ｓｃａｎｎｉｎｇ ｐｒｏｂｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）は高倍率の観察ができるが，観察視野が１００μｍ角〜数十ｎｍ角と狭いため，欠陥を探し出す作業に時間がかかる。これに対し，走査型レーザー顕微鏡（ＬＳＭ：ｌａｓｅｒ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）は観察視野が数ｍｍ角〜数十μｍ角と広いため…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全685字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜「ＡＭ−ＬＣＤ」で，ＴＦＴの過去から 有機デバイスの最新研究までを総覧
Ｔｕｔｏｒｉａｌ：ＳｏＣ一発動作のための最新ＬＳＩ設計法＆ＥＤＡ〜跳ね上がるマスク・コスト 補正技術を設計に生かす 背景にはＡｒＦリソグラフィの延命がある
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜粒径分布測定装置「ＬＡ−９５０」
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜デジタル・オシロスコープ「ＴＰＳ２０００シリーズ」
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜オーディオ処理向けＩＰ「ＡＲＣｓｏｕｎｄ」
