Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜新原理ウエーハ検査装置が台頭 ２波長同時計測でスループット向上
日経マイクロデバイス 第232号 2004.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第232号（2004.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2538字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （252kb） |
| 雑誌掲載位置 | 88〜89ページ目 |
ウエーハ検査装置市場で，新しい原理を導入した装置が大きく伸びている。半導体検査装置や露光装置を手がけるトプコンが２００２年に発売した，ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）ウエーハ表面の異物を検査する装置である。光源に二つの波長の光を採用して，スループットを向上させた装置であり，「米ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ Ｃｏｒｐ．の牙城に挑んでいる」という姿が浮き彫りになっている。独自技術は「コロン…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「2ページ（全2538字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｒｅｐｏｒｔ［ＦＰＤ］〜ソニーのＬＥＤバックライト採用 狙いは“色”によるテレビの差異化
Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜「使えるレベル」のＳｉドット・メモリー 車載マイコン国内大手が採用に前向き
Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜ｈｉｇｈ−ｋの普及を加速する メタル・ゲートが本格離陸
Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜ＴＳＭＣのレファレンス設計フロー 最新版でＳｏＣ設計の業界標準となるか
Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜活発化する新材料開発 ｈｉｇｈ−ｋ膜は信頼性検証の段階に
