Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜ウエーハ検査装置「Ｓｕｒｆｓｃａｎ ＳＰ２」
日経マイクロデバイス 第231号 2004.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第231号（2004.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全572字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （78kb） |
| 雑誌掲載位置 | 103ページ目 |
スループットを米ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ Ｃｏｒｐ．の従来品「Ｓｕｒｆｓｃａｎ ＳＰ１ ＤＬＳ」に比べて５倍以上に高めたウエーハ検査装置（図４）。ウエーハ表面に紫外光を照射し，その反射光からウエーハ表面にある欠陥や異物を検出する。紫外光を使ったことで検出感度を高め，１ウエーハ当たりの検査時間を短縮した。その結果，歩留まりの低減につながる欠陥や異物のみを５５枚／時で抽出できるようになった。従来品のスル…
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