Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜ウェット処理用フィルタ「ウルチプリーツＰＫ」
日経マイクロデバイス 第230号 2004.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第230号（2004.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全571字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （226kb） |
| 雑誌掲載位置 | 107ページ目 |
従来品の１／３の本数で薬液を処理できるウェット工程向けのフィルタ（図４）。洗浄，現像，エッチング，はく離などのウェット工程で使う薬液に混入したゴミの除去に有効である。マザー・ガラス基板の大型化による薬液使用量の増大とともにフィルタの使用本数は確実に増える。このため，第７〜第８世代のＴＦＴ液晶パネル生産ラインではフィルタのコストや交換作業時間の増加が問題になっていた。日本ポールは今回，フィルタの循…
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