Ｅｍｅｒｇｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜「水に溶けない氷」で　ウエーハをガッチリ固める
日経マイクロデバイス　第224号　2004.2.1

　「セミコン・ジャパン　２００３」で目立たないが技術者の注目を集めたデモンストレーションがあった（図１）。一見水のような無色透明の液体が，冷却すると瞬時に凍結する。この液体を開発したのが従業員３人のエミネント　サプライである。小型の電子部品を機械加工する際に，今回の液体は電子部品を固定する接着剤として生かせる。携帯電話機向けの誘電体セラミック・フィルタの加工に採用された実績がある。「Ｓｉウエーハに…