Report[Logic]〜米Intel,90nmノード向け ひずみSi CMOSの構造を明らかに
日経マイクロデバイス 第223号 2004.1.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第223号(2004.1.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2590字) |
形式 | PDFファイル形式 (86kb) |
雑誌掲載位置 | 122〜123ページ目 |
ひずみSiを使ったMOS FETに関する注目すべき発表が「2003 International Electron Devices Meeting(2003 IEDM)」に続出した。中でも目を引いたのが,90nmノード向けひずみSi CMOSの構造を明らかにした米Intel Corp.である(図1〜図4)注1)。pMOSとnMOSの構造を作り分けている。pMOSはソース・ドレイン領域をエッチングし…
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