ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｌｏｇｉｃ］〜いよいよ見えてきた 「ひずみエンジニアリング」の方向性
日経マイクロデバイス 第223号 2004.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第223号（2004.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全446字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （129kb） |
| 雑誌掲載位置 | 117ページ目 |
「２００３ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｍｅｅｔｉｎｇ（２００３ ＩＥＤＭ）」の初日１２月８日，「ＣＭＯＳ Ｄｅｖｉｃｅｓ」のセッションでは「Ｓｔｒａｉｎｅｄ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｄｅｖｉｃｅ」のタイトルの下で，ひずみＳｉ ＭＯＳ ＦＥＴ関連の８件の講演が行われた。主な内訳は，微細バルクひずみＳｉ ＭＯＳ関連３件，ひずみＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ ｉｎｓｕｌａｔｏ…
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