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Report[Logic]〜工場シミュレーションや装置運用で 国内と海外のアプローチの違いが顕著に
日経マイクロデバイス 第221号 2003.11.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第221号(2003.11.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1810字) |
形式 | PDFファイル形式 (45kb) |
雑誌掲載位置 | 128ページ目 |
工場シミュレーションや装置のアイドル時間削減。今後の工場運営における重要技術について,国内と海外の取り組みが大きく違ってくる。このことが9月30日〜10月2日に米国サンノゼで開かれた「12th International Symposium on Semiconductor Manufacturing(ISSM 2003)」で顕著に見えた。大部分がソフトウェアに関する発表である海外メーカーに対し…
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