Report[Memory]〜MRAM生産開始へ 300mm装置導入に先行各社が動く
日経マイクロデバイス 第221号 2003.11.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第221号(2003.11.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2659字) |
形式 | PDFファイル形式 (73kb) |
雑誌掲載位置 | 132〜133ページ目 |
MRAM(magnetic RAM)の量産に向けて米Motorola, Inc.や米IBM Corp.など複数の先行メーカーが,量産装置を導入し始めた。本誌調査によると,2003年秋から300mmウエーハ対応の装置を発注し始め,2004年春にはこの装置を使ったラインでの試作を開始する。量産化時期は2004〜2005年になる。 このうちMotorolaは,4Mビットまでのチップを2003年中にサン…
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