Ranking[Logic]〜米Intelが考える300mmライン戦略 スケール・メリットとナノテクで展開 2011年にゲート長10nmで量産
日経マイクロデバイス 第221号 2003.11.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第221号(2003.11.1) |
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ページ数 | 1ページ (全654字) |
形式 | PDFファイル形式 (105kb) |
雑誌掲載位置 | 120ページ目 |
米Intel Corp.のSenior Vice President,Sunlin Chou氏が同社の技術と製造に関する講演を「Intel Developer Forum」で実施した。300mmウエーハ量産ラインのスケール・メリットや2011年までの微細化スケジュール,ナノテクノロノジなどについて言及している。300mmラインに関しては,200mmウエーハ量産ラインに対して,チップの取得数で約2…
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