Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｌｏｇｉｃ］〜「３００ｍｍラインは環境に優しい」 米Ｉｎｔｅｌがデータで証明
日経マイクロデバイス 第221号 2003.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第221号（2003.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全310字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （105kb） |
| 雑誌掲載位置 | 121ページ目 |
米Ｉｎｔｅｌ Ｃｏｒｐ．が３００ｍｍウエーハ量産ラインの方が２００ｍｍウエーハ量産ラインより廃棄物量や純水使用量が少ないというデータを「Ｉｎｔｅｌ Ｄｅｖｅｌｏｐｅｒ Ｆｏｒｕｍ」で示した。Ｉｎｔｅｌが示したデータは，以下の四つである。第１に，揮発性の有機物は３００ｍｍラインにすることで４８％削減できる。第２に，パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）は５５％減らせる。第３に，危険な空気汚染物質（ｈａｚａ…
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