連載［マニュファクチャリング］〜「ＭＥＭＳの本質」を 半導体技術者はどう理解すれば良いか
日経マイクロデバイス 第215号 2003.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第215号（2003.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全7814字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （633kb） |
| 雑誌掲載位置 | 108〜113ページ目 |
ＭＥＭＳシステムＬＳＩプロセス技術半導体や電子機器の関係者，製造装置メーカーなどが「次のメシの種」としてＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）に熱い期待を寄せている。しかし，「ＭＥＭＳの本質は，半導体の立場からどう理解したらよいのか」という疑問が出ている。この疑問に，ＭＥＭＳ技術をリードする東北大学の江刺正喜氏が明快に答える。「集積化ＭＥＭＳ」，「ＳｉＭＥＭＳ…
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