μレポート［ＬＳＩ製造］〜ＬＳＩ工程の目視検査 ついに無くなる
日経マイクロデバイス 第215号 2003.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第215号（2003.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2514字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （109kb） |
| 雑誌掲載位置 | 36〜37ページ目 |
検査・分析欠陥検査装置自動化金属顕微鏡などを前に，これまで黙々と検査を続けていたオペレータがＬＳＩ工場からいなくなる。このような方向が見えてきた。最後まで残っていた露光量異常やレジスト塗布ムラなどのマクロ欠陥検査の自動化が可能になり，ＬＳＩ量産の工程管理として常に使われてきたオペレータによる目視検査がついに全廃できるメドが立ったためである。従業員にとってはひたすら検査を続けるために非人間的な作業と…
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