μレポート［ＬＳＩ製造］ 囲み〜「格納だけ」「搬送だけ」から 統合システムとして提供
日経マイクロデバイス 第210号 2002.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第210号（2002.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全280字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （119kb） |
| 雑誌掲載位置 | 53ページ目 |
アシスト シンコーは「ＳＭＩＦ」ポッド大手の米Ａｓｙｓｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ．と半導体工場向け搬送装置大手の神鋼電機による合弁企業である。２００２年１０月に始動した。 Ａｓｙｓｔからは，ＳＭＩＦポッドなどのウエーハ格納装置とベルト・コンベア式の搬送装置，神鋼電機からはＲＧＶなどの搬送装置をそれぞれ持ち寄る。これによって両者を１システムとして提供できるようにし，搬送システム全体の構…
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