技術レター[LSI製造]〜IBMの350GHzの SiGeトランジスタ 論文提出後に高速化
日経マイクロデバイス 第210号 2002.12.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第210号(2002.12.1) |
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ページ数 | 1ページ (全263字) |
形式 | PDFファイル形式 (82kb) |
雑誌掲載位置 | 38ページ目 |
学会トランジスタSiGe 米IBM Corp.は,遮断周波数が350GHzと高いSiGeトランジスタを開発,12月に米国で開かれる「2002 International Electron Devices Meeting(IEDM)」で発表する。論文提出時の遮断周波数は288GHzだったが,論文提出後に350GHzを確認した。これまでInPやGaAsでは実現できていたが,Si系では初めてである。「新…
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