緊急特集　Ｐａｒｔ２　寄稿〜メモリーの事例●　０．１８μｍから重大故障が急増
日経マイクロデバイス　第209号　2002.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第209号（2002.11.1）
ページ数	7ページ　（全5148字）
形式	PDFファイル形式　（267kb）
雑誌掲載位置	73〜79ページ目

アドバンテスト品質保証統括部第３品質保証部京谷　文雄山崎　眞　メモリーに関して過去に経験した不具合事例をまとめた。この結果，１９９０年代後半から重大な信頼性の故障が増加していることが分かった（図１）。そこで，まず重大な信頼性の故障の発生状況や具体的な故障の事例を示し，次にこれらの事例の分析と問題の背後に隠れる原因を追求し，今後の対策を検討した注１）。発生状況と具体例●多種多様な不良が発生　過去１０…