技術レター[LSI製造]〜MRAMとFeRAMの 発表が相次いだ 「2002 SSDM」
日経マイクロデバイス 第209号 2002.11.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第209号(2002.11.1) |
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ページ数 | 1ページ (全732字) |
形式 | PDFファイル形式 (64kb) |
雑誌掲載位置 | 61ページ目 |
学会MRAM強誘電体メモリー MRAMと強誘電体メモリー(FeRAM)の発表が,「2002 Solid State Device & Materials Conference(2002 SSDM)」の不揮発性メモリー技術のセッションに相次いだ。 ソニーは,アモーファスの磁気トンネル接合(MTJ)材料を用いた1トランジスタMTJ MRAM技術について招待講演した。0.35μmのCMOS技術を使い,0…
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