特集　とびら〜主役交代，変貌するプロセス開発体制
日経マイクロデバイス　第207号　2002.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第207号（2002.9.1）
ページ数	1ページ　（全1244字）
形式	PDFファイル形式　（101kb）
雑誌掲載位置	57ページ目

ＬＳＩメーカーのプロセス開発体制が大きく変わる。「テクノロジ・センター」を拡充させた製造装置メーカーは，個別プロセスからモジュール・プロセスまで担当するようになった。トータル・プロセスは共同開発が主流になっている。さらに特定のプロセスやそれに伴う検査・分析では，それぞれを専門に請け負うベンチャ企業が続出してきた。これまでは，お題目に近かったプロセス開発における外部活用が，いよいよ現実になってきた。…