産業ウォッチャ〜ＬＥＥＰＬ技術の　コンソーシアムに　新たに５社が加入
日経マイクロデバイス　第203号　2002.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第203号（2002.5.1）
ページ数	1ページ　（全249字）
形式	PDFファイル形式　（64kb）
雑誌掲載位置	31ページ目

日本露光提携研究・開発　「ＬＥＥＰＬ技術コンソーシアム」に新たに５社が加入した。同コンソーシアムは，２００１年６月に，次世代露光技術の開発促進並びに普及を目的として１３社でスタートした。その後６社が加入して１９社で活動中だった。今回５社が加入し，会員は２４社になる。今回加入したのは，ＬＳＩメーカーが日立製作所，セイコーエプソン，三菱電機の３社，装置メーカーが日本電子，独ＮａＷｏＴｅｃ　ＧｍｂＨ．の…