特集，Ｐａｒｔ２〜Ｓｉの潜在能力を引き出し　新しい半導体産業を創出
日経マイクロデバイス　第201号　2002.3.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第201号（2002.3.1）
ページ数	8ページ　（全9231字）
形式	PDFファイル形式　（333kb）
雑誌掲載位置	48〜55ページ目

プラズマＣＶＤ　システムＬＳＩ　産学官連携Ｓｉの潜在能力を最大限に引き出し，新しい半導体産業を創出する研究・開発プロジェクトが始まった。東北大学教授の大見忠弘氏がリーダーを務めるプロジェクト「ＤＩＩＮ（Ｎｅｗ　Ｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｃｅ　ｆｏｒ　ＩＣ　Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｔｉｏｎ）」である。研究拠点となる東北大学構内の「未来情報産業研究館」には，大見氏が過去１６年間にわたって開発した技術を集約した…