技術レター〜半導体技術が抱える　問題点と解決策を　東大の奥村氏が示す
日経マイクロデバイス　第200号　2002.2.1

研究・開発ＥＢ露光３次元実装　現在の半導体技術が抱えている問題点とその解決策を，東京大学教授の奥村勝弥氏が示した。問題点は，（１）損益の振幅の拡大，（２）微細化の限界，（３）生産技術の限界である。（１）損益の振幅は，一度投資に失敗すると企業の屋台骨が揺らぎかねないほど大きくなっている。（２）微細化は，マスクを含む露光コストの高騰，ゲート・リークの増加，配線遅延の顕在化の３点で限界が見えてきた。中で…