連載［マニュファクチャリング］　囲み〜速さと確実さが　システムＬＳＩの付加価値を高める
日経マイクロデバイス　第190号　2001.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第190号（2001.4.1）
ページ数	1ページ　（全1523字）
形式	PDFファイル形式　（198kb）
雑誌掲載位置	163ページ目

ＮＥＣエレクトロンデバイス評価技術開発本部長辻出　徹　氏　システムＬＳＩ時代は速さと確実さが付加価値を持つ。個々の顧客に対する確実で早い試作，そして決められた数を決められた納期で収めることができる生産が求められる。しかし製造工程は年々長くなり，かつプロセスの種類，品種数は確実に増加しており，これを阻害する要素は増え続ける。最先端のプロセスを求められることが多く，新しい材料の適用もあってプロセスが複…