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日経マイクロデバイス　第190号　2001.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第190号（2001.4.1）
ページ数	3ページ　（全3385字）
形式	PDFファイル形式　（80kb）
雑誌掲載位置	153〜155ページ目

ＬＳＩ製造■重ね合わせ測定装置「Ａｒｃｈｅｒ　１０」　０．１３μｍプロセスと３００ｍｍウエーハに対応した重ね合わせ測定装置。測定精度，スループット，自動化の点で改善した（図１）。測定精度は，従来から３０％高めることによって２ｎｍを達成した。このために，測定対象の検出形状を従来の２次元から３次元に変え，さらに新しい雑音除去アルゴリズムを採用した。スループットは，２００ｍｍウエーハの場合で１５０枚／時…