連載［マニュファクチャリング］〜複雑化するシステムＬＳＩ　歩留まりを統合化システムで向上
日経マイクロデバイス　第190号　2001.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第190号（2001.4.1）
ページ数	8ページ　（全7869字）
形式	PDFファイル形式　（198kb）
雑誌掲載位置	162〜169ページ目

システムＬＳＩ製造製造装置システムＬＳＩ時代を勝ち抜いていくためには，ＤＲＡＭの考え方から脱却する必要がある。これは，何も製造に限った話ではない。開発から量産までを含めて製造に関する体系を新しく変えていかなくてはならない。このような認識の下，ＮＥＣでは設計，開発，生産，テスト，不良解析を総合的に支援する技術を開発し，同社内で使い始めようとしている。これによって，システムＬＳＩの「命」と言える速さと…