特集 Ｐａｒｔ４〜基本要素を集積化 複雑な機能を実現
日経マイクロデバイス 第181号 2000.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第181号（2000.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全1749字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （63kb） |
| 雑誌掲載位置 | 164〜165ページ目 |
マイクロマシン センサー 方向 ２０１５年に向けて電子システムがさらに高度化していくために，複数の基本的な要素を集積化したマイクロマシン技術が不可欠になっていく。 課題 マイクロマシンの高度化には，センサーやアクチュエータ，エネルギー源といった基本要素が必要であり，個々の要素の高性能化が必須である。 対策 エッチングや厚膜形成のマイクロマシン製造技術を急ピッチで開発しなくてはならない。一般的に使わ…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「2ページ（全1749字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
特集 Ｐａｒｔ２〜発電単価を１／３に低減 ２０１５年，４兆円市場へ
特集 Ｐａｒｔ３〜面記録密度のトレンド 当面６０％／年を堅持
新製品ファイル〜新製品ファイル
インタビュー〜ＬＳＩ製造でナンバー・ワンに
カレンダ〜カレンダ
