ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ ＬＳＩ（メモリー）〜「（１１１）Ｓｉ基板を 使うべき」 東北大の大見氏が提言
日経マイクロデバイス 第177号 2000.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第177号（2000.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全302字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （37kb） |
| 雑誌掲載位置 | 148ページ目 |
製造技術ウエーハ大学 長い間使ってきた（１００）Ｓｉ基板に代わり，「（１１１）Ｓｉ基板を使うべきだ」と，東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報社会創製分野教授の大見忠弘氏が提言した。（１１１）面を使えば，ホールの移動度が高まってＣＭＯＳ ＬＳＩのチップ寸法を半減できるとする。このアイデアは過去からあったが，Ｓｉの（１００）面以外では良質なＳｉＯ２膜が形成できなかったため実用化されなかった。同…
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