時代を創る〜「空の時代」を創る
日経マイクロデバイス 第176号 2000.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第176号（2000.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1836字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （29kb） |
| 雑誌掲載位置 | 3ページ目 |
綱島 祥隆 氏東芝セミコンダクター社マイクロエレクトロニクス技術研究所プロセス技術研究所プロセス技術開発第二担当主査「微細加工の時代」，「構造の時代」，「材料の時代」と変遷してきたＬＳＩプロセスに次の時代が見えた。「空の時代」である。この時代の一翼を担う中空トランジスタを開発した東芝セミコンダクター社の綱島 祥隆氏は，こうした中空構造がＬＳＩの性能向上のトレンドを維持するために「将来不可欠になる」…
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