特集 Part3〜新構造のCSPに対応した 量産版装置が出そろう
日経マイクロデバイス 第176号 2000.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第176号(2000.2.1) |
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ページ数 | 6ページ (全4579字) |
形式 | PDFファイル形式 (361kb) |
雑誌掲載位置 | 58〜63ページ目 |
装置技術CSP製造装置検査装置低コスト化高速・多機能型のCSP(chip size package)の普及に向けて,量産対応版の製造・検査装置が出そろってきた。フェースダウン型と積層型では従来装置を使えるが,フリップチップ型以降は試作対応の装置しかそろっていなかった。ここへ来て,フリップチップ型で新たに必要になるバンプ形成,接続,検査のそれぞれに対して,量産に対応した製造・検査装置が相次いで登場し…
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