特集　Ｐａｒｔ．２〜技術者の意識は変わった　テクノロジ・ドライバはシステムＬＳＩ
日経マイクロデバイス　第174号　1999.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第174号（1999.12.1）
ページ数	6ページ　（全4516字）
形式	PDFファイル形式　（267kb）
雑誌掲載位置	104〜109ページ目

アンケートテクノロジ・ドライバシステムＬＳＩ応用機器製造技術０．１μｍ時代のテクノロジ・ドライバは，システムＬＳＩに変わり，技術者は，技術そのものに加えて応用機器の変化に大きな関心を持つようになる。そして，０．１μｍ時代のカギを握る技術はトランジスタ技術と，これを実現する上で欠かせない露光技術になる。大手ＬＳＩメーカーのデバイス・プロセス技術者を対象に本誌が独自のアンケート調査を実施し，第一線のデ…