専門特集〜システムＬＳＩに照準合わせ ＬＳＩ設計・製造技術を一新
日経マイクロデバイス 第170号 1999.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第170号（1999.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全10603字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （48kb） |
| 雑誌掲載位置 | 100〜101ページ目 |
ロジックＬＳＩＤＲＡＭフラッシュ・メモリー設計技術システムＬＳＩに照準を合わせたＬＳＩ設計・製造技術の開発が活発化してきた。ＬＳＩの主用途がパソコンからディジタル民生機器へ移行し，チップの高性能化と低コスト化の両立，開発期間の短縮が急務になったためである。高性能化と低コスト化の両立のために，Ｃｕ配線と低誘電率層間絶縁膜を組み合わせたデバイス技術を新規導入し，ＤＲＡＭ混載に向けメモリーの回路技術やセ…
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