ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ ＬＳＩ（メモリー）〜３００ｍｍ対応ＬＳＩ量産ライン 稼働開始時期は ２００２年に１年先送り
日経マイクロデバイス 第169号 1999.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第169号（1999.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全648字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （37kb） |
| 雑誌掲載位置 | 132ページ目 |
大口径化製造装置工場 ３００ｍｍウエーハによるＬＳＩ量産ラインの稼働開始時期が２００２年と１年遅れる見通しになった。本誌では３００ｍｍウエーハ対応のＬＳＩ量産ラインの稼働開始時期が２００１年と当初計画より２年遅れると分析したばかりだが，さらに１年先送りになった格好である（本誌１９９９年６月号，ｐｐ．１４−１５を参照）。米Ｉｎｔｅｌ Ｃｏｒｐ．は，見直した計画よりも１年遅れの２００２年に３００ｍｍ対…
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