専門特集　第１部〜前倒し０．１８μｍの量産開始　露光技術は三つに分化
日経マイクロデバイス　第167号　1999.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第167号（1999.5.1）
ページ数	8ページ　（全7023字）
形式	PDFファイル形式　（91kb）
雑誌掲載位置	96〜103ページ目

特集［ＬＳＩプロセス］●露光技術前倒しした０．１８μｍＬＳＩの量産がいよいよ始まった。かなめである露光技術は０．２５μｍルールと様変わりする。これまではＬＳＩ各社が採用する露光技術はほぼ同じだったが，０．１８μｍはコスト，対象にするＬＳＩの種類，露光の余裕度，に対する考え方から大きく三つのグループに分かれることになった。第１部では，ＬＳＩ各社が固めた０．１８μｍの量産向け露光技術をまとめる。第２部…