インタビュー〜半導体技術の将来像 ０．１μｍの障壁を乗り越える
日経マイクロデバイス 第166号 1999.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第166号（1999.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全3051字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （51kb） |
| 雑誌掲載位置 | 24〜25ページ目 |
Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｒｏａｄｍａｐ ｆｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ（ＩＴＲＳ）ＣｈａｉｒｐｅｒｓｏｎＰａｏｌｏ Ａ． Ｇａｒｇｉｎｉ 氏１９７０年に伊Ｂｏｌｏｇｎａ大学の電子工学博士課程，１９７５年に物理学博士課程をそれぞれ修了，１９７８年に米Ｉｎｔｅｌ Ｃｏｒｐ．に入社。最先端ＭＯＳ構造におけるプロセスの信頼性に関する研究に従事してきた。インテル・フェローであ…
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