時代を創る〜ソフトウェアだけで実現
日経マイクロデバイス　第166号　1999.4.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第166号（1999.4.1）
ページ数	1ページ　（全1757字）
形式	PDFファイル形式　（31kb）
雑誌掲載位置	3ページ目

Ｙａｇｙｅｎｓｈ　Ｃ．　Ｐａｔｉ　氏米Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，　Ｉｎｃ．Ｐｒｅｓｉｄｅｎｔ　ａｎｄ　ＣＥＯ「露光装置を全く変更せずに微細化を進める」。設備投資の負担に苦しむＬＳＩメーカーにとって夢のような話が現実になろうとしている。米ニューメリカル・テクノロジーズ社（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，　Ｉｎｃ．）はソフトウェアだけで一世代先に微細化を進められると豪…