ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ ＬＳＩ（メモリー）〜東芝がチップ面積約６０ｍｍ２の １２８Ｍ ＤＲＡＭを １９９９年末から量産
日経マイクロデバイス 第164号 1999.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第164号（1999.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全436字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （35kb） |
| 雑誌掲載位置 | 134ページ目 |
東芝がチップ面積の縮小技術で先行した。チップ面積が約６０ｍｍ２と小さい１２８Ｍ ＤＲＡＭを１９９９年末から量産する。このチップ面積を実現するため，設計ルールを０．１８μｍに微細化するとともに，メモリー・セル構造を改良した。現在量産しているＤＲＡＭでは，埋め込みストラップを用いた基板セル・プレート型セルを使っているが，これを改良することにより９．６Ｆ２（Ｆは設計ルール）だったセル面積を８Ｆ２に縮小…
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