NewsLetter 実装・一般電子部品〜世界初のウエーハ・ バーンイン装置を出展 1999年10月に製品化
日経マイクロデバイス 第163号 1999.1.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第163号(1999.1.1) |
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ページ数 | 1ページ (全481字) |
形式 | PDFファイル形式 (28kb) |
雑誌掲載位置 | 164ページ目 |
松下通信工業は,松下電子工業と共同で世界で初めてウエーハ・レベル・バーンイン装置を開発,1998年12月2日〜4日に開かれた「セミコン・ジャパン98」で参考出品した。従来は,ウエーハから切断したチップごとにソケットに入れて処理していた。今回の装置はウエーハ上で一括処理できるため,大幅に低コスト化できる。特にソケットが高かったベア・チップやCSP(chip size package)の場合に有効で…
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