特集1 先端半導体をつくる〜ウエハー洗浄装置
日経ものづくり 第835号 2024.4.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第835号(2024.4.1) |
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ページ数 | 3ページ (全2218字) |
形式 | PDFファイル形式 (3108kb) |
雑誌掲載位置 | 55〜57ページ目 |
「半導体ウエハー洗浄装置は、確実にバッチから枚葉に移行している」─。 SCREENホールディングス傘下で半導体製造装置を手掛けるSCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市)社長の後藤正人氏は、同社がトップシェアを誇るウエハー洗浄装置についてこう語る。ArF露光装置の登場で一気に逆転 半導体製造におけるウエハー洗浄は、製造における不良率を下げてウエハー1枚当たりの歩留まりを高める重要な工…
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