特集　世界を救う異端のアイデア〜半導体製造の常識を突破エッチング用ガスを再使用温暖化係数はＣＯ２の数千〜数万倍代替不可ならば繰り返し使う
日経ものづくり　第640号　2008.1.1

ＯＫＩ（沖電気工業）は，半導体事業での温室効果ガスの使用量や排出量を削減するため，新たな一手を打った。製造工程で使う温室効果ガスを回収・精製した上で新品のガスと混ぜて再使用するという。“破壊力”抜群のガス　半導体製造工程で使うガスは，地球温暖化係数（ＧＷＰ：Ｇｌｏｂａｌ　Ｗａｒｍｉｎｇ　Ｐｏｔｅｎｔｉａｌ）が特に高いパー・フルオロ・コンパウンド（ＰＦＣ）と呼ばれるものだ。　ＧＷＰは，二酸化炭素と比…