新製品　レーザ干渉計〜ＤＶＤなどの量産ラインに対応　２５ｍｍの小口径の測定が可能
日経ものづくり　第598号　2004.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第598号（2004.7.1）
ページ数	1ページ　（全389字）
形式	PDFファイル形式　（394kb）
雑誌掲載位置	148ページ目

　「Ｚｙｇｏ　ＰＴＩ　２５０シリーズ」（米Ｚｙｇｏ社）は，２５ｍｍの小口径の測定が可能な小型レーザ干渉計。デジタル家電や光学機器などの量産ラインでの検査に利用する。ＤＶＤやＨＤＤ，光学機器用のレンズといったデジタル家電や半導体などの形状検査での利用を想定している。価格は３０４万円（税別）から。　干渉縞じまを瞬時に検知する新しい測定方式「ＦｌａｓｈＰｈａｓｅアルゴリズム」を採用している。フーリエ解析…