MAP Focus〜リニアモータを使った直動案内ユニット
日経ものづくり 第556号 2001.1.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第556号(2001.1.1) |
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ページ数 | 1ページ (全731字) |
形式 | PDFファイル形式 (57kb) |
雑誌掲載位置 | 64ページ目 |
「GLM10形」は,駆動源にリニアモータを採用した直動案内ユニット。レールに対してテーブルが直接動くので高速化に向き,発塵(じん)も抑えられる。クリーンルームに設置して半導体や液晶パネルを製造する装置に組み込んで使う。具体的には,搬送や組み立て,検査,測定用装置の駆動部や位置決め部だ。 新しい直動案内ユニットの構造は次の通り。まず土台となるベースの左右両端に2本の細い直動案内を並べてレールを形成…
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