ＮＥレポート〜圧電ＭＥＭＳファウンドリー センサー向けにロームが提供
日経エレクトロニクス 第1135号 2014.5.26
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1135号（2014.5.26） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1126字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （298kb） |
| 雑誌掲載位置 | 17ページ目 |
ロームは、高感度センサーの低コスト化に向く半導体製造技術を確立し、その製造受託サービスに乗り出した。この技術は、圧電材料のＰＺＴをＳｉ上に薄膜として形成するもの。高速で低消費電力のアクチュエーターの製造にも使える。同社は、ＩＣ製造とＭＥＭＳ加工の技術を併せて提供し、圧電ＭＥＭＳファウンドリーとして製造を受託する狙いである。 既に、同社のグループ企業であるラピスセミコンダクタ宮崎の敷地に圧電ＭＥＭ…
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