NEレポート〜注目集めるTSV技術 Wide I/O DRAMが起爆剤に
日経エレクトロニクス 第1075号 2012.2.6
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1075号(2012.2.6) |
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ページ数 | 2ページ (全2023字) |
形式 | PDFファイル形式 (642kb) |
雑誌掲載位置 | 12〜13ページ目 |
チップを3次元接続した300mmウエハー(富士通研究所) 2012年1月に開催された「ネプコン ジャパン 2012」では、TSV(Si貫通ビア)を用いた3次元実装技術の展示や講演に注目が集まった(図1)。TSVは半導体チップを貫通する電極であり、TSVを備えたチップ同士を積層接続することで、システムの低消費電力化や高速化を実現できる。TSVはこれまで一部のCMOSイメージ・センサなどで実用化されて…
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