ＭＥＭＳセンサ〜ＭＥＭＳセンサ，半導体の“ＤＮＡ”獲得で高性能，複合機能，高信頼へと進化
日経エレクトロニクス 第975号 2008.4.7
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第975号（2008.4.7） |
|---|---|
| ページ数 | 14ページ （全19516字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （2860kb） |
| 雑誌掲載位置 | 20〜33ページ目 |
半導体技術を駆使するＭＥＭＳセンサは，センシング技術を大きく進化させました。小型化によって高性能，多機能，低コストなど多くのメリットが生まれました。既に，ゲーム機やデジタル・カメラ，パソコンのＨＤＤ，自動車などにＭＥＭＳセンサは幅広く利用されています。ＭＥＭＳはセンシング技術にどのようなインパクトをもたらしたのかを整理し，ＭＥＭＳセンサを利用したり開発したりするときの勘所を押さえます。それを踏まえ…
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