特集 半導体・新進化論〜メモリから論理ＬＳＩへ ２０１０年を目指して開発進む
日経エレクトロニクス 第943号 2007.1.15
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第943号（2007.1.15） |
|---|---|
| ページ数 | 7ページ （全8467字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （756kb） |
| 雑誌掲載位置 | 82〜88ページ目 |
３次元ＬＳＩの実現を目指した取り組みが活発になっている。半導体製造技術の国際学会「２００６ ＩＥＤＭ」でも発表が相次いだ。用途はＤＲＡＭ，フラッシュ・メモリ，論理ＬＳＩなど幅広い。発表した半導体メーカーの多くが２０１０年前後の実用化を目指している。製造時間の短縮や動作確認，信頼性の確認などあらゆる角度から検証が進む。配線にトランジスタを形成する斬新なアイデアや，ウエハー表面をはがして薄いＬＳＩを容…
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