Selected Shorts〜たんぱく質で配線や透明電極 Cambrios社が製造技術開発
日経エレクトロニクス 第920号 2006.2.27
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第920号(2006.2.27) |
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ページ数 | 1ページ (全278字) |
形式 | PDFファイル形式 (281kb) |
雑誌掲載位置 | 49ページ目 |
たんぱく質を使った製造技術を開発する米Cambrios Technology社は,LSIの配線工程やプリント配線基板の配線工程,液晶パネルの電極製造工程に向けた技術を発表した。いずれも特定の材料にのみ結合するたんぱく質を利用する。溶液を使っており,リソグラフィ工程や真空装置を使う膜形成工程を省け,製造工程を簡略化できるとする。LSIに向けた技術は,Cu配線のエレクトロマイグレーションを抑えるCo…
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