Selected Shorts〜パイオニアとNHKが共同で冷陰極HARP撮像板を開発
日経エレクトロニクス 第901号 2005.6.6
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第901号(2005.6.6) |
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ページ数 | 1ページ (全518字) |
形式 | PDFファイル形式 (295kb) |
雑誌掲載位置 | 46ページ目 |
パイオニアとNHKは共同で,超高感度の撮像素子の実現に向けて,冷陰極HARP撮像板を開発した。主にNHKがHARP膜を開発し,パイオニアが冷陰極アレイの開発を担当した。今回発表した撮像板の有効撮像領域は12.8mm×9.6 mm,画素の寸法は50μm×50μm,画素数は水平256×垂直192の約5万画素,厚さは約10mm。電荷数を200倍増幅する厚さ15μmのHARP膜を使用した。HARP膜では…
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